2.0.1 潔凈室及相關受控環境 cleanrooms and associated controlled environment

　　潔凈室及其附屬的、輔助的、相聯系的開放或封閉的內部或周邊空間，該空間的懸浮微粒濃度等參數也受到符合相關標準的控制。

　　2.0.2 單向流潔凈室 unidirectional airflow cleanroom

　　由方向單一、流線平行并且速度均勻穩定的單向流流過房間工作區整個截面的潔凈室。

　　2.0.3 非單向流潔凈室 non-unidirectional airflow cleanroom

　　是指流線不平行、方向不單一、速度不均勻而且有交叉回旋的紊亂氣流流過房間工作區整個截面的潔凈室。亦稱亂流潔凈室。

　　2.0.4 混合流潔凈室 mixed airflow cleanroom

　　同時分別存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室。

　　2.0.5 微粒 particle

　　懸浮在空氣中的、固態的或液態的、活性的或非活性的物質，其粒徑(對本標準而言)在10nm～100μm的范圍。

　　2.0.6 氣溶膠 aerosol

　　在空氣中懸浮的微小固體或液體微粒的分散系。

　　2.0.7 生物氣溶膠 bio-aerosol

　　散布于氣態環境中的生物介質。

　　2.0.8 浮游菌 airborne bacteria

　　懸浮在空氣中的帶菌微粒。

　　2.0.9 沉降菌 scttlemental bacteria

　　降落在表面上的帶菌微粒。

　　2.0.10 測試用氣溶膠 test aerosol

　　呈氣態懸浮的固體或液體的微粒，其粒徑分布和濃度已知且受控。

　　2.0.11 泄漏 leak

　　空氣過濾器系統因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透過，透過的污染物超過下風向濃度預計值。

　　2.0.12 檢漏 leak test

　　找到過濾器和機組部件泄漏的方法，即使用氣溶膠光度計或光學粒子計數器以相互重疊的掃描區域掃描通過測試區。

　　2.0.13 過濾器安裝后泄漏測試 installed filter leakage test

　　為確認過濾器安裝良好所進行的測試。測試時要驗證設施沒有旁路滲漏，過濾器及過濾器和安裝框架間的密封面沒有缺陷和泄漏。

　　2.0.14 靜態 at-rest

　　全部建成且設施齊備，凈化空調系統運行正常，現場沒有人員。此時生產設備已安裝完畢而未運行的潔凈室狀態;或生產設備停止運行并進行自凈達到規定時間后的潔凈室狀態;或正在按建設方(用戶)和施工方商定的方式運行的潔凈室狀態。是潔凈室的三種占用狀態(空態、靜態、動態)之一。

　　2.0.15 高純氣體 ultrapure gas

　　氣體成分純度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm的氣體。

　　2.0.16 純化水 purity water (去離子水或深度脫鹽水)

　　指溫度25℃時，電阻率大于0.1×106Ω·cm的水。

　　2.0.17 高純水(注射用水) ultrapure water

　　指溫度25℃時，電阻率大于0.1×106Ω·cm，水中大于或等于0.5μm的塵粒小于300粒/mL，活微生物小于9個/mL的純水。

　　2.0.18 大(宏)粒子 macroparticle

　　當量直徑大于5μm的微粒。

　　2.0.19 超微粒子 ultrafine particle

　　當量直徑小于0.1μm的微粒。

　　2.0.20 永久氣體 permanent gas

　　臨界溫度低于-10℃的氣體，如空氣、氧、氮、氦、甲烷、一氧化碳等。

　　2.0.21 特種氣體 special gas

　　為滿足特定用途的氣體，包括單一氣體或混合氣體。單一氣體有259種，其中電子氣體115種，有機氣體63種，無機氣體35種，鹵碳素氣體29種，同位素氣體17種。

　　2.0.22 醫用氣體 medical gas

　　符合醫療相關規定要求，供治療、診斷、預防等醫學方面使用的氣體。

　　2.0.23 潔凈氣體 clean gas

　　單位體積所含微粒的數量小于或等于使用此氣體的潔凈環境潔凈度的常用氣體。

　　2.0.24 分子態污染物 airborne molecular contamination，AMC

　　含在空氣中的具有分子量級的污染物，如酸性氣體、堿性氣體、凝聚性有機物質、用于半導體的摻雜物、高揮發性有機物質和分子級的金屬等。